Suscettori di Grafite
Max Graphite fornisce suscettori di grafite e portawafer lavorati con precisione per l'epitassia del silicio, l'epitassia SiC, il MOCVD e i processi correlati di deposizione di semiconduttori composti. I nostri suscettori sono prodotti da gradi di grafite isostatica qualificati per gli ambienti dei processi per semiconduttori, finiti a tolleranze dimensionali esatte e certificati prima della spedizione.
La Purezza della Grafite e la Precisione Dimensionale Definiscono lo Strato Epitassiale
Nella deposizione epitassiale, le decisioni sui materiali a livello del suscettore si manifestano direttamente nella qualità dello strato a livello del wafer. La purezza, l'uniformità dimensionale e l'adesione del rivestimento governano la distribuzione della temperatura sulla superficie del wafer — e qualsiasi varianza si traduce in perdite di rendimento che si accumulano nel corso di un ciclo di produzione. I suscettori di Max Graphite sono lavorati da gradi di grafite isostatica qualificati per gli ambienti dei processi per semiconduttori, finiti a tolleranze dimensionali esatte e certificati prima della spedizione.
Applicazioni
- Reattori per l'epitassia del silicio (Si) — configurazioni a botte, a frittella e wafer singolo
- Reattori per l'epitassia del carburo di silicio (SiC)
- Reattori MOCVD per GaN
- Reattori MOCVD per GaAs e InP
- Processi MOCVD per nitruro di alluminio (AlN) e altri composti III-V
- Epitassia in fase vapore di idruro (HVPE)
- Attrezzature per la produzione di wafer LED
- Attrezzature per processi di impiantazione ionica
Soluzioni Max Graphite per Suscettori
Suscettori a Botte
Max Graphite lavora suscettori a botte da gradi di grafite isostatica qualificati per reattori di epitassia applicata e LPE. Il rivestimento SiC è disponibile alle tolleranze specificate dall'OEM e ai requisiti di finitura superficiale, con la certificazione di conformità dimensionale inclusa.
Suscettori a Frittella
Forniamo suscettori a frittella per unità di epitassia LPE, CSD e tipo Gemini, lavorati con precisione e certificati a tolleranze dimensionali strette, con opzioni di rivestimento abbinate a chimiche di processo specifiche e cicli di pulizia.
