Grafite Poroso
A Max Graphite fornece grafite poroso para fabricantes que operam nas indústrias de semicondutores, tratamento térmico e processos de alta temperatura em geral, onde a permeabilidade controlada e a estabilidade dimensional são variáveis diretas do processo. Nossa gama abrange desde graus de poros finos a poros grossos, fornecidos como tarugos prensados isostaticamente, placas e hastes usinadas, ou componentes totalmente acabados — em volumes de protótipo, qualificação e produção em série. Tratamento de alta pureza e classes de porosidade personalizadas estão disponíveis em toda a gama para atender aos requisitos de crescimento de cristais, manuseio a vácuo, distribuição de gás e desgaseificação de metais. Cada grau é produzido com arquitetura de poros consistente e controle de impurezas adequado aos ambientes mais exigentes de fornos, deposição e crescimento de cristais.
O que é Grafite Poroso?
O grafite poroso é um material de carbono projetado com uma rede de poros abertos controlada e interconectada que combina a estabilidade térmica, inércia química e condutividade do grafite com permeabilidade a gases e líquidos. O tamanho dos poros, a distribuição e a porosidade em massa são ajustados durante a formação e grafitização para fornecer permeabilidade e características de superfície específicas para cada aplicação. A Max Graphite produz grafite poroso em toda a gama de porosidade — desde graus de poros finos para rolamentos de ar de precisão e substratos a vácuo até graus de poros grossos para desgaseificação e filtração — com tratamento opcional de alta pureza para ambientes de semicondutores e crescimento de cristais. O fornecimento de componentes se estende desde blocos brutos até peças totalmente usinadas e prontas para aplicação.
Propriedades do Grafite Poroso
- Porosidade Aberta Controlada — Rede de poros interconectada projetada para fornecer permeabilidade previsível para aplicações de gás, líquido e vácuo.
- Estabilidade Dimensional em Alta Temperatura — Mantém a forma e a integridade mecânica em ambientes de vácuo, inertes e de fornos de alta temperatura, muito além dos limites das alternativas metálicas.
- Inércia Química — Resistente à maioria dos ácidos, álcalis e gases de processo agressivos, suportando o uso em ambientes de semicondutores, químicos e metais fundidos.
- Condutividade Térmica — Conduz e distribui o calor de forma eficiente, suportando campos de temperatura uniformes em processos de crescimento de cristais, deposição e tratamento térmico.
- Condutividade Elétrica — Mantém a condutividade através do corpo poroso, permitindo o uso como componente aquecido ou eletricamente ativo.
- Usinabilidade — Usina-se de forma limpa com tolerâncias apertadas e geometrias complexas sem comprometer a integridade da estrutura dos poros.
- Ajustabilidade da Pureza — Disponível em graus padrão e de alta pureza com perfis de impurezas controlados para aplicações em semicondutores, SiC e semicondutores compostos.
- Distribuição de Tamanho de Poro Adaptada — O diâmetro e a distribuição dos poros podem ser especificados para atender aos requisitos de fluxo de ar, vácuo, infiltração ou filtração.
- Baixa Degaseificação — Adequado para ambientes de vácuo e ultralimpos quando fornecido em grau purificado.
- Compatibilidade de Impregnação — A porosidade aberta permite impregnação secundária com resinas, metais ou carbono pirolítico para produzir estruturas híbridas com propriedades sob medida.
Aplicações
- Crescimento de Cristais de SiC Semicondutor — Placas e componentes de grafite poroso utilizados no crescimento de cristais PVT para proporcionar gradientes de temperatura uniformes e fornecimento estável de carbono para lingotes de SiC de alta qualidade.
- Componentes de Forno de Tratamento Térmico — Placas de distribuição de gás, peças de zona quente e componentes de processo projetados para tratamento térmico em vácuo, atmosfera inerte e redutora.
- Mandris de Vácuo para Wafer — Componentes para manuseio de substratos para processamento de wafers semicondutores e solares, onde a distribuição uniforme de vácuo evita cargas pontuais em substratos finos.
- Mancais Aerostáticos (a Ar) — Corpos porosos usinados com precisão para fusos de alta rotação e alta precisão em equipamentos de metrologia, usinagem e inspeção de semicondutores.
- Degaseificação de Metal Fundido — Rotores, eixos e difusores para tratamento de alumínio e metais não ferrosos fundidos, onde a dispersão de bolhas finas melhora a limpeza do metal.
- Distribuição de Gás CVD e MOCVD — Chuveiros e difusores porosos para fornecimento uniforme de precursores em processos de deposição de filmes finos.
- Filtração e Separação — Meios filtrantes para produtos químicos corrosivos, metais fundidos e gases de alta temperatura, onde a inércia química e a estabilidade dimensional são necessárias.
- Substratos Eletroquímicos — Substratos para eletrodos e coletores de corrente para sistemas eletroquímicos de alta temperatura e células de combustível.
Materiais e Produtos Relacionados
Grafite Isostática