다공성 흑연
맥스 그래파이트는 제어된 투과성과 치수 안정성이 직접적인 공정 변수인 반도체, 열처리 및 광범위한 고온 공정 산업 분야의 제조업체에 다공성 흑연을 공급합니다. 당사의 제품군은 미세 기공에서 거친 기공 등급까지 다양하며, 등방압 성형 빌렛, 가공된 플레이트 및 로드, 또는 완제품 형태로 — 시제품, 인증 및 양산 물량으로 공급됩니다. 결정 성장, 진공 처리, 가스 분배 및 금속 탈기 요구 사항에 맞춰 고순도 처리 및 맞춤형 다공성 등급을 전 제품군에 걸쳐 제공합니다. 모든 등급은 가장 까다로운 용광로, 증착 및 결정 성장 환경에 적합한 일관된 기공 구조와 불순물 제어 기능을 갖추고 생산됩니다.
다공성 흑연이란?
다공성 흑연은 흑연의 열 안정성, 화학적 불활성 및 전도성과 가스 및 액체에 대한 투과성을 결합한, 제어되고 상호 연결된 개방형 기공 네트워크를 가진 엔지니어링된 탄소 소재입니다. 기공 크기, 분포 및 전체 다공성은 성형 및 흑연화 과정에서 응용 분야별 투과성 및 표면 특성을 제공하도록 조정됩니다. 맥스 그래파이트는 정밀 에어 베어링 및 진공 기판용 미세 기공 등급부터 탈기 및 여과용 거친 기공 등급까지 전체 다공성 범위에 걸쳐 다공성 흑연을 생산하며, 반도체 및 결정 성장 환경을 위한 선택적 고순도 처리를 제공합니다. 부품 공급은 원료 블록부터 완전히 가공된, 응용 분야에 바로 사용할 수 있는 부품까지 다양합니다.
다공성 흑연의 특성
다공성 흑연은 흑연의 고유한 특성과 엔지니어링된 기공 구조를 결합하여 투과성, 강도 및 공정 호환성의 정밀한 균형을 제공합니다.
- 제어된 개방형 다공성 — 가스, 액체 및 진공 응용 분야에 예측 가능한 투과성을 제공하도록 설계된 상호 연결된 기공 네트워크.
- 고온에서의 치수 안정성 — 금속 대체재의 한계를 훨씬 뛰어넘어 진공, 불활성 및 고온 용광로 환경에서 형태와 기계적 무결성을 유지합니다.
- 화학적 불활성 — 대부분의 산, 알칼리 및 공격적인 공정 가스에 내성이 있어 반도체, 화학 및 용융 금속 환경에서의 사용을 지원합니다.
- 열전도율 — 열을 효율적으로 전도하고 분배하여 결정 성장, 증착 및 열처리 공정에서 균일한 온도장을 지원합니다.
- 전기 전도성 — 다공성 본체를 통해 전도성을 유지하여 가열되거나 전기적으로 활성인 부품으로 사용할 수 있도록 합니다.
- 가공성 — 기공 구조의 무결성을 손상시키지 않으면서 정밀한 공차와 복잡한 형상으로 깨끗하게 가공됩니다.
- 순도 조절 가능성 — 반도체, SiC 및 화합물 반도체 응용 분야를 위해 불순물 프로파일이 제어된 표준 및 고순도 등급으로 제공됩니다.
- 맞춤형 기공 크기 분포 — 공기 흐름, 진공, 침투 또는 여과 요구 사항에 맞게 기공 직경 및 분포를 지정할 수 있습니다.
- 낮은 아웃가싱 — 정제 등급으로 공급될 경우 진공 및 초청정 환경에 적합합니다.
- 함침 호환성 — 개방형 다공성은 수지, 금속 또는 열분해 탄소로 2차 함침이 가능하여 맞춤형 특성을 가진 하이브리드 구조를 생산합니다.
적용 분야
- 반도체 SiC 결정 성장 — 고품질 SiC 잉곳을 위해 균일한 온도 구배와 안정적인 탄소 공급을 제공하는 PVT 결정 성장에 사용되는 다공성 흑연 플레이트 및 부품.
- 열처리로 부품 — 진공, 불활성 및 환원 분위기 열처리를 위해 설계된 가스 분배 플레이트, 핫존 부품 및 공정 부품.
- 웨이퍼 진공 척 — 균일한 진공 분포가 얇은 기판에 점 하중이 가해지는 것을 방지하는 반도체 및 태양광 웨이퍼 처리를 위한 기판 처리 부품.
- 공기 정압(에어) 베어링 — 계측, 가공 및 반도체 검사 장비의 고속 회전(RPM), 고정밀 스핀들을 위한 정밀 가공된 다공성 본체.
- 용융 금속 탈가스 — 미세 기포 분산이 금속 청정도를 향상시키는 알루미늄 및 비철금속 용융 처리용 로터, 샤프트 및 디퓨저.
- CVD 및 MOCVD 가스 분배 — 박막 증착 공정에서 균일한 전구체 공급을 위한 다공성 샤워헤드 및 디퓨저.
- 여과 및 분리 — 화학적 불활성 및 치수 안정성이 요구되는 부식성 화학 물질, 용융 금속 및 고온 가스용 여과 매체.
- 전기화학 기판 — 고온 전기화학 및 연료전지 시스템용 전극 및 전류 집전체 기판.
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