Matériaux en graphite et carbone pour l'industrie des semi-conducteurs

La fabrication de semi-conducteurs repose sur des environnements de processus à la fois extrêmes et précisément contrôlés. La croissance cristalline, l'épitaxie, l'implantation ionique et le CVD fonctionnent tous à des températures élevées, souvent dans des atmosphères corrosives ou réactives, où même une contamination infime peut compromettre la qualité des wafers. Les matériaux qui revêtent, chauffent, isolent et supportent ces processus doivent offrir une stabilité thermique, une inertie chimique et une précision dimensionnelle à chaque étape.

Les matériaux à base de carbone sont parfaitement adaptés à ces exigences. Le graphite isostatique de haute pureté résiste aux températures et aux chimies corrosives rencontrées dans les fours de croissance cristalline et de dépôt, tout en maintenant des tolérances strictes. Le feutre de carbone offre une isolation légère et à faible conductivité qui améliore l'uniformité thermique et l'efficacité énergétique. Les composites carbone-carbone (C-C) combinent une résistance élevée et une faible masse thermique, ce qui les rend efficaces pour les composants structurels de four soumis à des cycles thermiques répétés.

Max Graphite fournit des composants en graphite, feutre et composites C-C pour l'ensemble de la chaîne de production des semi-conducteurs — du traitement du polysilicium et de la croissance des lingots à l'épitaxie et à la manipulation des wafers. Nous fournissons des consommables standard et fabriquons des pièces sur mesure selon les plans du client.