반도체용 흑연 및 탄소 소재
반도체 제조는 극한의 환경과 정밀한 제어가 동시에 요구되는 공정 환경에 의존합니다. 결정 성장, 에피택시, 이온 주입 및 CVD는 모두 고온에서 작동하며, 종종 부식성 또는 반응성 분위기에서 미량의 오염조차 웨이퍼 품질을 저하시킬 수 있습니다. 이러한 공정을 구성하고, 가열하고, 단열하며, 지지하는 재료는 모든 단계에서 열 안정성, 화학적 불활성 및 치수 정밀도를 제공해야 합니다.
탄소 기반 소재는 이러한 요구 사항에 매우 적합합니다. 고순도 등방성 흑연은 결정 성장 및 증착로에서 발견되는 고온 및 부식성 화학 환경을 견디면서도 엄격한 공차를 유지합니다. 탄소 펠트는 열 균일성과 에너지 효율을 향상시키는 경량의 저전도성 단열재를 제공합니다. 탄소-탄소(C-C) 복합재는 높은 강도와 낮은 열 질량을 결합하여 반복적인 열 사이클링에 직면하는 용광로 구조 부품에 효과적입니다.
Max Graphite는 폴리실리콘 공정 및 잉곳 성장부터 에피택시 및 웨이퍼 핸들링에 이르기까지 반도체 생산 공정 전반에 걸쳐 흑연, 펠트 및 C-C 복합재 부품을 공급합니다. 당사는 표준 소모품을 제공하고 고객 도면에 따라 맞춤형 부품을 가공합니다.
적용 분야
- 결정 성장 도가니 및 서셉터 — 초크랄스키(CZ) 및 물리 기상 수송(PVT) 핫존용 등방성 흑연 부품
- 발열체 — 결정 성장, 어닐링 및 증착로용 저항성 흑연 히터
- 경질 펠트 단열 실린더 및 패널 — 결정 성장 및 고온 용광로 챔버용 열 관리
- 에피택시용 웨이퍼 캐리어 및 서셉터 — 실리콘 및 SiC 에피택시 증착용 고순도 흑연 플랫폼
- 폴리실리콘 반응기용 흑연 전극 — 지멘스 공정 CVD 챔버용 정밀 가공 전극 세트
- 이온 주입 고정 장치 — 빔 라인 어셈블리 및 웨이퍼 핸들링에 사용되는 흑연 부품
- 용광로 구조 요소 — 핫존 어셈블리용 흑연 및 C-C 복합재 플레이트, 지지대 및 패스너
- 흑연 포일 개스킷 및 씰 — 공정 챔버 조인트 및 플랜지용 유연한 흑연 밀봉 솔루션
재료
등방성 흑연
흑연 경질 펠트
흑연 포일
탄소-탄소 복합재
왜 Max Graphite인가요?
Max Graphite는 반도체 응용 분야를 위한 흑연, 탄소 펠트 및 C-C 복합재 부품의 단일 공급업체입니다. 당사는 표준 핫존 소모품을 공급하고 고객 도면에 따라 맞춤형 부품을 제조하여 여러 특수 재료를 조달하는 복잡성을 줄여줍니다. 당사의 재료는 공인된 산업 표준에 부합하는 품질 벤치마크에 따라 생산되며, 당사의 기술팀은 초기 사양부터 생산에 이르기까지 재료 선택을 지원합니다. 경쟁력 있는 가치로 프리미엄 품질의 탄소 소재를 찾는 팹 및 장비 OEM에게 Max Graphite는 기존 공급업체에 대한 신속한 대안을 제공합니다.
반도체 공정을 위한 흑연, 펠트 또는 C-C 복합재 부품을 조달할 준비가 되셨습니까? 견적을 요청하시거나 도면을 보내주십시오. 당사 팀이 귀하의 요구 사항을 검토하고 상세한 제안으로 응답해 드릴 것입니다.
