Коротковолокнистый графитовый жесткий войлок
Коротковолокнистый графитовый жесткий войлок — это передовой, высокочистый углеродный изоляционный материал, разработанный для превосходной работы в самых требовательных высокотемпературных процессах. Изготовленный из коротких волокон на основе вискозы, он обеспечивает исключительную теплоизоляцию, минимальную тепловую массу и выдающуюся стабильность размеров при температурах до 3000°C в инертной или вакуумной атмосфере. Этот материал является предпочтительным выбором для критически важных применений, требующих однородных тепловых свойств и сверхнизкого уровня загрязнений, таких как производство полупроводниковых подложек из карбида кремния (SiC) и печи для эпитаксиального роста.
Спецификация
Коротковолокнистый графитовый жесткий войлок
Наш коротковолокнистый войлок марки SR4 характеризуется стабильной плотностью, высокой чистотой и надежными тепловыми характеристиками.
Типовые характеристики марок: Все значения являются типовыми; индивидуальные марки доступны по запросу.
Сертификаты:
Размер
Коротковолокнистый графитовый жесткий войлок
Мы предлагаем широкий выбор размеров и возможности полной индивидуальной механической обработки для соответствия точным конструкциям печей.
Что такое коротковолокнистый графитовый жесткий изоляционный войлок?
Коротковолокнистый графитовый жесткий войлок представляет собой монолитный, плитообразный изоляционный материал, полученный путем формования и высокотемпературной обработки матрицы из коротких, хаотично ориентированных углеродных/графитовых волокон, связанных между собой. В отличие от длинноволокнистых войлоков, которые обладают более высокой прочностью на разрыв вдоль направления волокон, коротковолокнистая структура обеспечивает более изотропный, однородный и мелкозернистый материал. Это приводит к стабильным тепловым и механическим свойствам во всех направлениях, превосходной чистоте поверхности для механической обработки и минимальному риску расслоения, что делает его идеальным для сложных, прецизионно обработанных компонентов горячей зоны.
Основные свойства коротковолокнистого графитового жесткого изоляционного войлока
- Отличная теплоизоляция: Очень низкая теплопроводность минимизирует потери тепла и повышает эффективность печи.
- Высокая стойкость к термическому шоку: Выдерживает быстрые циклы нагрева и охлаждения без растрескивания.
- Сверхвысокая чистота и низкое газовыделение: Волокно на основе вискозы с содержанием золы <20 ppm (и ниже для HP) обеспечивает чистую технологическую среду, что критически важно для роста полупроводников.
- Отличные изотропные свойства: Однородное поведение во всех направлениях благодаря короткой, хаотичной ориентации волокон.
- Низкая тепловая масса: Обеспечивает более быстрые циклы работы печи, сокращая время процесса и потребление энергии.
- Высокая стабильность размеров: Низкий КТР сохраняет форму и допуски при экстремальных температурных циклах.
- Хорошая обрабатываемость: Может быть прецизионно обработан в сложные геометрические формы с жесткими допусками.
Процесс производства жесткого изоляционного войлока из коротковолокнистого графита
Производственный процесс обеспечивает однородный, высокочистый и жесткий конечный продукт.
- Подготовка волокна: Выбранные вискозные волокна-прекурсоры точно нарезаются для создания коротких волокон.
- Формирование суспензии и формование: Волокна смешиваются со связующим на основе смолы для образования суспензии, которая затем формуется в желаемую форму (плита, цилиндр).
- Отверждение: Связующее отверждается для обеспечения начальной прочности в сыром состоянии.
- Карбонизация и графитизация: Деталь подвергается пиролизу (карбонизации) с последующей высокотемпературной обработкой (>2400°C) в инертной атмосфере для превращения ее в чистую графитовую структуру.
- Высокотемпературная очистка: Опциональный процесс галогенной очистки (HP) для снижения содержания металлических примесей до сверхнизких уровней (<5 ppm золы).
- Прецизионная обработка: Окончательная обработка на станках с ЧПУ для достижения точных размеров и допусков заказчика.
Применение
Полупроводники третьего поколения
Основной изоляционный материал для производства подложек из карбида кремния (SiC) и эпитаксиальных индукционных печей.
Традиционные полупроводники
Идеально подходит для печей выращивания кристаллов кремния (по Чохральскому) и эпитаксиальных реакторов в фотоэлектрической и электронной промышленности.
Высокотемпературные печи
Используется в процессах спекания, графитизации, MOCVD и в исследовательских печах, требующих превосходной теплоизоляции и низкого газовыделения.
Аэрокосмическая отрасль и передовые материалы
Компоненты для систем тепловой защиты и обработки передовой керамики.
Сопутствующие материалы и товары
Мы предлагаем комплексное системное решение для нужд высокотемпературной изоляции.
Мягкий графитовый войлок
Жесткий графитовый войлок
Графитовый фетр на основе ПАН
Пековый графитовый войлок
Вискозный графитовый войлок
Плиты и цилиндры из жесткого графитового войлока