Пористый графит
Max Graphite поставляет пористый графит производителям, работающим в полупроводниковой промышленности, термообработке и более широких высокотемпературных технологических отраслях, где контролируемая проницаемость и стабильность размеров являются прямыми технологическими переменными. Наш ассортимент включает марки от мелкопористых до крупнопористых, поставляемые в виде изостатически прессованных заготовок, обработанных пластин и стержней или полностью готовых компонентов — для прототипов, квалификационных образцов и серийного производства. Для всего ассортимента доступны высокочистая обработка и индивидуальные классы пористости, соответствующие требованиям выращивания кристаллов, вакуумной обработки, распределения газов и дегазации металлов. Каждая марка производится с постоянной архитектурой пор и контролем примесей, что подходит для самых требовательных сред печей, осаждения и выращивания кристаллов.
Что такое пористый графит?
Пористый графит — это специально разработанный углеродный материал с контролируемой, взаимосвязанной открытой пористой структурой, который сочетает в себе термическую стабильность, химическую инертность и проводимость графита с проницаемостью для газов и жидкостей. Размер пор, их распределение и общая пористость регулируются в процессе формования и графитизации для обеспечения специфической для применения проницаемости и поверхностных характеристик. Max Graphite производит пористый графит во всем диапазоне пористости — от мелкопористых марок для прецизионных воздушных подшипников и вакуумных подложек до крупнопористых марок для дегазации и фильтрации — с опциональной высокочистой обработкой для полупроводниковой промышленности и сред выращивания кристаллов. Поставка компонентов осуществляется от необработанных блоков до полностью обработанных, готовых к применению деталей.
Свойства пористого графита
- Контролируемая открытая пористость — Взаимосвязанная пористая структура, разработанная для обеспечения предсказуемой проницаемости для газовых, жидких и вакуумных применений.
- Стабильность размеров при высокой температуре — Сохраняет форму и механическую целостность в вакуумных, инертных и высокотемпературных печных средах, значительно превосходящих возможности металлических аналогов.
- Химическая инертность — Устойчив к большинству кислот, щелочей и агрессивных технологических газов, что позволяет использовать его в полупроводниковой, химической промышленности и средах расплавленных металлов.
- Теплопроводность — Эффективно проводит и распределяет тепло, обеспечивая равномерные температурные поля в процессах выращивания кристаллов, осаждения и термообработки.
- Электропроводность — Поддерживает проводимость через пористое тело, что позволяет использовать его в качестве нагреваемого или электроактивного компонента.
- Обрабатываемость — Чисто обрабатывается с соблюдением жестких допусков и сложных геометрий без ущерба для целостности пористой структуры.
- Регулируемость чистоты — Доступно в стандартных и высокочистых марках с контролируемым профилем примесей для применения в полупроводниковой промышленности, для SiC и составных полупроводников.
- Индивидуально подобранное распределение пор по размерам — Диаметр и распределение пор могут быть заданы в соответствии с требованиями к воздушному потоку, вакууму, инфильтрации или фильтрации.
- Низкое газовыделение — Подходит для вакуумных и сверхчистых сред при поставке в очищенном исполнении.
- Совместимость с пропиткой — Открытая пористость позволяет вторичную пропитку смолами, металлами или пиролитическим углеродом для создания гибридных структур с индивидуально заданными свойствами.
Применение
- Выращивание полупроводниковых кристаллов SiC — Пластины и компоненты из пористого графита, используемые при выращивании кристаллов методом PVT для обеспечения равномерных температурных градиентов и стабильной подачи углерода для получения высококачественных слитков SiC.
- Компоненты печей для термической обработки — Газораспределительные пластины, детали горячей зоны и технологические компоненты, разработанные для термической обработки в вакууме, инертной и восстановительной атмосфере.
- Вакуумные патроны для пластин — Компоненты для работы с подложками при обработке полупроводниковых и солнечных пластин, где равномерное распределение вакуума предотвращает точечную нагрузку на тонкие подложки.
- Аэростатические (воздушные) подшипники — Прецизионно обработанные пористые тела для высокоскоростных, высокоточных шпинделей в оборудовании для метрологии, механической обработки и контроля полупроводников.
- Дегазация расплавленного металла — Роторы, валы и диффузоры для обработки расплавов алюминия и цветных металлов, где диспергирование мелких пузырьков повышает чистоту металла.
- Распределение газа для CVD и MOCVD — Пористые газораспределительные головки и диффузоры для равномерной подачи прекурсоров в процессах осаждения тонких пленок.
- Фильтрация и разделение — Фильтрующие материалы для агрессивных химикатов, расплавленных металлов и высокотемпературных газов, где требуются химическая инертность и стабильность размеров.
- Электрохимические подложки — Подложки для электродов и токосъемников для высокотемпературных электрохимических систем и систем топливных элементов.
Сопутствующие материалы и товары
Изостатический графит