Вискозный графитовый войлок

Вискозный графитовый войлок для изоляции печей для производства SiC и полупроводников

Вискозный графитовый войлок применяется там, где изоляционный слой должен оставаться электрически нейтральным, структурно стабильным и химически чистым в условиях индукционного нагрева и вакуумных циклов — в индукционных печах для подложек и эпитаксии SiC, в оборудовании третьего поколения полупроводникового технологического оборудования, башен для вытяжки и производства преформ оптического волокна, а также высокочистого оборудования для спекания и термообработки. Прекурсор на основе целлюлозы обеспечивает низкое содержание золы, тонкую структуру волокон и минимальный риск дугового разряда внутри индукционных полей, поэтому он является предпочтительным прекурсором, когда выход продукции печи зависит от чистоты изоляции.

• Мягкие и жесткие формы из одной производственной линии: Мягкий войлок в рулонах для гибкой футеровки и герметизации; жесткие плиты, цилиндры и обработанные компоненты для создания структурных горячих зон — соответствующие одному и тому же стандарту чистоты.
• Несколько марок и вариантов отделки: Стандартные и высокотемпературные марки, с возможностью нанесения пироуглеродного покрытия и ламинирования графитовой фольгой для увеличения срока службы в условиях высокой концентрации паров или окислительных сред.
• Низкое содержание золы и стабильная структура волокон для индукционных применений: Графитизация в непрерывных печах и специализированные линии очистки контролируют уровень золы и осыпание волокон от партии к партии.
• Стандартные размеры плюс полное изготовление на заказ: Стандартные форматы плит, цилиндров и рулонов имеются в наличии; обработка на станках с ЧПУ для футеровок, перегородок, обмоток сусепторов и полных комплектов футеровки печей по чертежам.
• Мощности от прототипа до серийного производства: Собственные мощности по термообработке и очистке, рассчитанные на квалификационные партии вплоть до многолетних программ поставок.

Почему проектные группы выбирают Max Graphite

Один поставщик как мягкого, так и жесткого вискозного войлока: Полный ассортимент продукции на основе конкретного прекурсора поставляется в рамках единого коммерческого сотрудничества.

Производственные мощности, рассчитанные на квалифицированные, регулярные поставки: Линии непрерывной термообработки и очистки, рассчитанные на серийное производство, а не на лабораторные заказы.

Инжиниринг и индивидуальное производство на одной линии: Прямой технический контакт, разработка материалов по индивидуальным требованиям и изготовление деталей по чертежам без привлечения сторонних субподрядчиков.

Когда вискозный войлок является оптимальным решением

Прекурсоры на основе вискозы, ПАН и пека определяют различные области применения, и Max Graphite поставляет все три вида с одного завода. Войлок на основе вискозы обычно используется там, где индукционный нагрев, низкое содержание золы и тонкая волоктура являются определяющими переменными процесса — наиболее ярким примером служат инструменты для SiC и полупроводников третьего поколения. Войлок на основе ПАН чаще применяется в установках для выращивания солнечных кристаллов методом Чохральского с резистивным нагревом и в вакуумных печах для термообработки с высоким циклом. Войлок на основе пека используется в установках для выращивания кристаллов кремния первого поколения и в средах для эпитаксии с резистивным нагревом, где предпочтителен его профиль проводимости. Покупатели регулярно выбирают все три типа для одной конструкции горячей зоны.

Области применения

• Индукционные печи для выращивания подложек SiC и эпитаксии
• Технологическое оборудование для полупроводников третьего поколения
• Выращивание кристаллов кремния и эпитаксия
• Заготовки оптических волокон и вытяжные башни
• Вакуумная термообработка и печи для спекания
• Оборудование для высокотемпературной графитизации
• Установки для вытягивания фотоэлектрических кристаллов
• Тепловая защита и испытательное оборудование для аэрокосмической отрасли