Графит и углеродные материалы для полупроводниковой промышленности
Производство полупроводников зависит от технологических сред, которые одновременно являются экстремальными и точно контролируемыми. Выращивание кристаллов, эпитаксия, ионная имплантация и CVD (химическое осаждение из газовой фазы) — все эти процессы протекают при повышенных температурах, часто в коррозионных или реактивных атмосферах, где даже следовые загрязнения могут ухудшить качество пластин. Материалы, которые футеруют, нагревают, изолируют и поддерживают эти процессы, должны обеспечивать термическую стабильность, химическую инертность и точность размеров на каждом этапе.
Материалы на основе углерода хорошо подходят для этих требований. Изостатический графит высокой чистоты выдерживает температуры и агрессивные химические среды, характерные для печей выращивания кристаллов и осаждения, сохраняя при этом жесткие допуски. Углеродный войлок обеспечивает легкую, низкопроводящую изоляцию, которая улучшает термическую однородность и энергоэффективность. Углерод-углеродные (УУ) композиты сочетают высокую прочность с низкой тепловой массой, что делает их эффективными для конструкционных элементов печей, подвергающихся многократным термическим циклам.
Max Graphite поставляет компоненты из графита, войлока и УУ композитов для всего цикла производства полупроводников — от обработки поликремния и выращивания слитков до эпитаксии и работы с пластинами. Мы поставляем стандартные расходные материалы и изготавливаем детали на заказ по чертежам клиентов.
Применение
- Тигли и подложки для выращивания кристаллов — компоненты из изостатического графита для горячих зон Чохральского (CZ) и физического осаждения из газовой фазы (PVT)
- Нагревательные элементы — резистивные графитовые нагреватели для печей выращивания кристаллов, отжига и осаждения.
- Жесткие войлочные изоляционные цилиндры и панели — для терморегулирования при выращивании кристаллов и в высокотемпературных камерах печей.
- Носители пластин и подложки для эпитаксии — платформы из графита высокой чистоты для эпитаксиального осаждения кремния и SiC.
- Графитовые электроды для реакторов поликремния — прецизионно обработанные комплекты электродов для камер CVD по процессу Сименса.
- Оснастка для ионной имплантации — графитовые компоненты, используемые в узлах пучковых линий и при работе с пластинами.
- Конструкционные элементы печей — пластины, опоры и крепежные элементы из графита и УУ композитов для узлов горячих зон.
- Прокладки и уплотнения из графитовой фольги — гибкие графитовые уплотнительные решения для соединений и фланцев технологических камер.
Материалы
Изостатический графит
Жесткий графитовый войлок
Графитовая фольга
Углерод-углеродный композит
Почему Max Graphite?
Max Graphite — это единый поставщик компонентов из графита, углеродного войлока и УУ композитов для полупроводниковой промышленности. Мы поставляем стандартные расходные материалы для горячих зон и изготавливаем детали на заказ по чертежам клиентов, что снижает сложность закупок нескольких специализированных материалов. Наши материалы производятся в соответствии с эталонами качества, соответствующими признанным отраслевым стандартам, а наша техническая команда оказывает поддержку в выборе материалов от первоначальной спецификации до производства. Для фабрик и OEM-производителей оборудования, ищущих высококачественные углеродные материалы по конкурентоспособной цене, Max Graphite предлагает оперативное решение в качестве альтернативы традиционным поставщикам.
Готовы заказать компоненты из графита, войлока или УУ композитов для вашего полупроводникового процесса? Запросите коммерческое предложение или отправьте нам свой чертеж — наша команда рассмотрит ваши требования и ответит подробным предложением.
