흑연 히터

결정 순도는 히터 등급 흑연에서 시작됩니다.

쵸크랄스키 성장 및 고온 열처리 공정에서 흑연 히터는 공정의 열적 핵심이며, 그 재료 품질은 수율, 결정 구조 및 공정 반복성에 직접적인 영향을 미칩니다. 히터의 오염, 열 비대칭 또는 치수 편차는 하류로 전파되어 전위 결함, 표면 이상 및 결정 품질 저하를 초래합니다. Max Graphite는 검증되고 문서화된 재료 등급의 히터를 지정하고 가공하여, 귀사의 핫 존에 도달하는 제품이 단순히 사용 가능한 것이 아니라 귀사의 공정 요구 사항에 부합하도록 합니다.

• 검증된 순도, 완벽한 문서화: 당사는 공정 검증 및 수율 관리를 지원하기 위해 로트 추적성 및 재료 인증을 갖춘 고순도 및 초고순도 등방성 흑연 등급으로 가공된 히터를 공급합니다.
• 열 균일성을 위한 치수 정밀도: 히터 형상(슬롯 패턴, 벽 두께, 전극 접촉 형상)은 성장 또는 열처리 주기 전반에 걸쳐 원주 방향 온도 균일성을 유지하는 데 필요한 공차로 가공됩니다.
• 모든 순도 스펙트럼 재고 보유: 산업용 열처리를 위한 표준 등방성 등급부터 CZ 및 플로트 존 응용 분야를 위한 반도체 등급 재료에 이르기까지, Max Graphite는 관리되는 재료 포트폴리오를 통해 전체 성능 범위를 제공합니다.
• 주문 전 엔지니어링 자문: 당사 팀은 단순히 가공 능력뿐만 아니라 새로운 용광로 구성에 대한 재료 선택 지침, 치수 검토 및 형상 피드백을 제공합니다.
• 교차 기술 범위: 당사는 쵸크랄스키 실리콘, 플로트 존, 사파이어 및 SiC 결정 성장용 히터와 진공 경화, 소결 및 브레이징 용광로용 히터를 공급합니다. 귀사의 핫 존 전반에 걸쳐 인증된 단일 공급업체입니다.

적용 분야

• 쵸크랄스키(CZ) 단결정 실리콘 성장
• 플로트 존(FZ) 실리콘 결정 성장
• 사파이어 결정 성장 (키로풀로스, HEM)
• 탄화규소(SiC) 잉곳 성장
• 진공 및 분위기 열처리로
• 진공 경화 및 침탄 경화
• 진공 소결
• 고온 브레이징 (니켈, 구리, 티타늄)
• 확산 접합 및 열간 가압

맥스 그래파이트 히터 솔루션

저항 히터

맥스 그래파이트는 고객 도면에 따라 원통형, 분할형, 주름형, 평판형 구성의 흑연 저항 히터를 가공하며, 슬롯 형상 및 전극 인터페이스는 안정적인 전류 분배와 일관된 열 출력을 위해 정밀하게 제작됩니다.

• CZ 및 플로트 존 로용 원통형 및 링 히터
• 열처리 및 진공로 핫존용 주름형 및 평판형 히터
• 분할형 및 다중 구역 히터 어셈블리
• 맞춤형 전극 접촉 프로파일 및 단자 형상
• 산업용 챔버용 대형 히터

전류 전달 및 지지 부품

맥스 그래파이트는 히터 회로를 완성하는 전극 커넥터, 버스 바, 장착 하드웨어를 공급하며, 이들은 히터 형상 및 로 하드웨어와 직접 연결되도록 가공됩니다.

• 전극 로드 및 커넥터
• 버스 바 및 전류 전달 플레이트
• 클램핑 및 지지 브래킷

교체 및 개조 부품

맥스 그래파이트는 마모되거나 기존의 히터 부품을 샘플 부품 또는 과거 도면을 기반으로 복제하여, 인증된 생산 공정을 위해 검증된 재료 동등성을 갖춘 문서화된 교체품을 공급합니다.